Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Статьи из сборников (1)
- Книги (1)
-
Authors
-
Locations
-
Item types
- 1 неделя (1)
- 6 месяцев (1)
- Выдается по месту хранения (1)
-
Topics
- 20Х2НАч, сталь (1)
- Оборудование производства электронной техники (1)
- интегральные приборы (1)
- интегральные системы (1)
- интегральные схемы с субстананометровыми топологическими нормами (1)
- литографические циклы универсальные (1)
- литография на экстремальном ультрафиолетовом излучении (1)
- литография электронная проекционная (1)
- литография электронная сканирующая (1)
- мезоферрит (1)
- наноимпринт-литография (1)
- нанолитографические методы (1)
- нанолитографические процессы (1)
- нанолитография оптическая (1)
- наноструктурирование поверхностей (1)
- наноштампы (1)
- неравновесные процессы (1)
- низкоуглеродистые стали (1)
- производство интегральных микросхем (1)
- техника оптической нанолитографии, ограничения (1)
- технологические маршруты (1)
- топология наноструктур (1)
- травление вакуумное (1)
- травление вакуумное газопламенное (1)
- физико-химические процессы (1)
- фотолитографические процессы (1)
- фотолитография (1)
- фотошаблоны (1)
- Show more
- Show less