Normal view
MARC view
Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике А. И. Борисенко, В. В. Новиков, Н. Е. Прихидько и др. Акад. наук СССР, Ин-т химии силикатов им. ю И. В. Гребенщикова
Material type: TextPublication details: Ленинград Наука, Ленинградское отделение 1972Description: 112, [2] с. илSubject(s): тонкие пленки | электронные схемы | интегральные схемы | тонкие неорганические пленки | производство пленокItem type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode |
---|---|---|---|---|---|---|
Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-112779к (Browse shelf (Opens below)) | 1 | Available | 13820000277467 |
Библиогр.: с. 107-113
There are no comments on this title.