Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (2)
-
Authors
- Арендт, Поль Н. (1)
- Гоял, Амит (1)
- Красников, Геннадий Яковлевич (1)
- Фуджино, К. (1)
-
Locations
- Читальный зал 5 (1)
- Книгохранилище (1)
- Факультетская библиотека (1)
-
Item types
-
Topics
- осаждение струйное (2)
- IBAD метод (1)
- МОП- транзисторные структуры (1)
- МОП-транзисторы субмикронные (1)
- МОП-транзисторы субмикронные, дефекты (1)
- МОП-транзисторы субмикронные, надежность (1)
- МОП-транзисторы, масштабирование (1)
- МОП-транзисторы, физические процессы (1)
- бесфторные технологии (1)
- влияние технологических процессов (1)
- деградация подзатворного диэлектрика (1)
- диэлектрики подзатворные, формирование (1)
- диэлектрические слои (1)
- затворы МОПТ, формирование (1)
- затворы металлические (1)
- затворы поликремниевые (1)
- затворы поликристаллические (1)
- затворы полиметаллические (1)
- затворы полицидные (1)
- затворы силицидные (1)
- золь-гель метод (1)
- каналы МОПТ, формирование (1)
- лазерное осаждение импульсное (1)
- легированные слои, формирование (1)
- нитрирование термическое (1)
- окислы подзатворные (1)
- осаждение пламенное химическое (1)
- осаждение термохимическое (1)
- осаждение химическое (1)
- осаждение электрохимическое (1)
- пиролиз аэрозолей (1)
- пленки тонкие, эпитаксиальный рост (1)
- подложки биаксиально текстурированные (1)
- подложки, буферные слои (1)
- подложки, эпитаксиальные слои (1)
- распыление тонких пленок (1)
- рост сверхпроводников высокотемпературных (1)
- сверхпроводники высокотемпературные (1)
- сток-истоковые области МОПТ, конструкции (1)
- сток-истоковые области МОПТ, формирование (1)
- термическое испарение (1)
- термообработка сверхпроводников (1)
- тонкие пленки, методы осаждения (1)
- транзисторы (1)
- фторидно-бариевые процессы (1)
- эпитаксия жидкофазная (1)
- Show more
- Show less