Научная библиотека ТГУ catalog › Results of search for 'su:"фотохимическое травление."'

Search

Your search returned 3 results.

	1.	No cover image available Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников Б. Д. Луфт, В. А. Перевощиков, Л. Н. Возмилова и др. ; Под ред. Б. Д. Луфт by Луфт, Берта Давыдовна \| Перевощиков, Виктор Александрович \| Возмилова, Лидия Николаевна. Material type: Text; Format: print ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Publication details: М. Радио и связь 1982Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	2.	No cover image available Основные проблемы фотохимического травления диэлектрических слоев в микроэлектронике Е. Н. Гудымович by Гудымович, Елена Никифоровна. Source: Полифункциональные наноматериалы и нанотехнологии. Т. 1Material type: Article; Format: print ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	3.	No cover image available Способ безрезистного травления пленок диоксида кремния в «окнах» фотолитографического рисунка Е. Н. Гудымович, У. М. Фролова by Гудымович, Елена Никифоровна \| Фролова, Ульяна Михайловна \| Томский государственный университет Химический факультет Кафедра аналитической химии \| Томский государственный университет Химический факультет Публикации студентов и аспирантов ХФ. Source: Полифункциональные химические материалы и технологии : материалы Всероссийской с международным участием научной конференции, Томск, 21-23 ноября 2013 г.Material type: Article; Format: electronic available online ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Online access: Click here to access online Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)