Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Статьи из сборников (1)
- Книги (1)
-
Authors
-
Locations
- Книгохранилище (1)
-
Item types
-
Topics
- геттерирование (1)
- дрейф ионов (1)
- интегральные схемы (1)
- кварцевое сырье (1)
- кремниевые микросхемы (1)
- кремний поликристаллический (1)
- микроэлектроника (1)
- полупроводники (1)
- примеси неконтролируемые (1)
- примесные дефекты (1)
- рентгенолюминесцентный анализ (1)
- собственные дефекты (1)
- структурно-примесные дефекты (1)
- субмикронная технология (1)
- технология производства микросхем (1)
- физико-термические процессы (1)
- чипы кремниевые (1)
- Show more
- Show less