Normal view
MARC view
Базовые технологии микро- и наноэлектроники учебное пособие : [для студентов специальности 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" В. М. Воротынцев, В. Д. Скупов
Material type: TextLanguage: Russian Publication details: Москва Проспект 2019Description: 519 с. ил., таблISBN: 9785392303083Subject(s): микроэлектроника | наноэлектроника | материалы микроэлектроники | материалы наноэлектроники | полупроводниковые материалы высокочистые, технологии получения | полупроводниковые подложки, обработка абразивная | полупроводниковые подложки, обработка химическая | приборные структуры, технологии формирования | эпитаксия газофазная, метод | эпитаксия жидкофазная, метод | эпитаксия молекулярно-лучевая, метод | осаждение диэлектрических слоев | литография в микроэлектронике | легирование полупроводников | осаждение тонких пленок | радиационно-термические обработки | электронные структуры, технологии изготовления | кремний на диэлектрике, структуры | наноразмерные твердотельные композиции, квантовое описание | квантоворазмерные структуры | микротехнологии в микросистемной технике | нанотехнологии в микросистемной технике | дефекты в кристаллах, классификация | собственные точечные дефекты | кристаллы бездислокационные | дефектообразование в приборных структурах | дислокационная структура кристаллов | контрольные вопросыOther classification: З844.1-06я73-1Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
---|---|---|---|---|---|
1 неделя | Читальный зал 5 | 621.3 В758 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820001015833 | |
6 месяцев | Абонемент. Депозитарий | 62 В758 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000997790 | |
6 месяцев | Библиотека РФФ | 621.3 В758 (Browse shelf (Opens below)) | Checked out | 16/08/2024 | 13820001004906 |
Выдается по месту хранения | Читальный зал 5 | 621.3 В758 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820001004905 |
Библиогр. в конце гл.
There are no comments on this title.