Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (3)
-
Authors
- Адамс, А. (1)
- Гудков Г. В. (1)
- Зи, С. М. (1)
- Кац, Л. (1)
- Киреев, Валерий Юрьевич (1)
- Петров М. Н. (1)
- Пирс, К. (1)
- Столяров, Александр Александрович (1)
- Чистяков, Юрий Дмитриевич (1)
- Show more
- Show less
-
Locations
- Книгохранилище (2)
- Абонемент. Депозитарий (1)
- Библиотека РФФ (1)
- Факультетская библиотека (1)
-
Item types
- Выдается в читальный зал (2)
- 1 месяц (2)
- 6 месяцев (1)
-
Topics
- кремний (2)
- нитрид кремния (2)
- МОП-транзисторы (1)
- Металлы (1)
- Микроэлектронные схемы интегральные (1)
- Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство (1)
- Осаждение из газовой фазы (1)
- Производство (1)
- алюминий (1)
- биполярные транзистроры (1)
- вольфрам (1)
- германий (1)
- гетеробиполярные транзисторы (1)
- двуокись кремния (1)
- диффузия в поликремнии (1)
- диэлектрические пленки (1)
- диэлектрические постоянные (1)
- интегральные микросхемы (1)
- ионная имплантация (1)
- кремний аморфный (1)
- литография интегральных схем (1)
- литография оптическая (1)
- литография рентгеновская (1)
- литография электронно-лучевая (1)
- медь (1)
- микроструктуры (1)
- окисление поликремния (1)
- оксинитрид кремния (1)
- осаждение диэлектрических пленок (1)
- осаждение плазмохимическое (1)
- плазмоактивированные процессы (1)
- пленки окисные (1)
- подложки кремниевые (1)
- полевые транзисторы на gaas с барьером Шоттки (1)
- поликремний (1)
- поликремний легированный (1)
- поликремний нелегированный (1)
- полупроводниковые гетероструктуры (1)
- полупроводниковые пленки (1)
- полупроводниковые приборы (1)
- рост кристаллов (1)
- стекла силикатные (1)
- тантал (1)
- термоактивированные процессы (1)
- технология производства микросхем (1)
- титан (1)
- тонкопленочные транзисторы на поликремнии и аморфном кремнии (1)
- фоторезисторы кремнеорганические (1)
- эпитаксиальные монокристаллические пленки (1)
- эпитаксиальные технологии (1)
- Show more
- Show less
-
Places
- ЭБС Лань (1)