Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (2)
- Статьи из сериальных изданий (1)
-
Authors
- Адамс, А. (1)
- Зи, С. М. (1)
- Калыгина, Вера Михайловна (1)
- Кац, Л. (1)
- Лифшиц, Виктор Григорьевич (1)
- Луняков, Юрий Виловьевич (1)
- Новиков, Вадим Александрович (1)
- Петрова, Юлианна Сергеевна (1)
- Пирс, К. (1)
- Толбанов, Олег Петрович (1)
- Цупий, Светлана Юрьевна (1)
- Черников, Евгений Викторович (1)
- Чистяков, Юрий Дмитриевич (1)
- Яскевич, Тамара Михайловна (1)
- Show more
- Show less
-
Locations
- Книгохранилище (2)
-
Item types
- Выдается в читальный зал (2)
- 1 месяц (1)
-
Topics
- подложки кремниевые (3)
- Кремний (1)
- Максвелла уравнения (1)
- Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство (1)
- Облучение электронами (1)
- Потери энергии (1)
- Спектроскопические исследования (1)
- Электроны (1)
- азот (1)
- алюминий (1)
- бор (1)
- валентная электронная плотность (1)
- водород (1)
- гадолиний (1)
- германий (1)
- двуокись кремния (1)
- диффузия в поликремнии (1)
- железо (1)
- золото (1)
- индий (1)
- ионная имплантация (1)
- иттерий (1)
- калий (1)
- кислород (1)
- кобальт (1)
- кремниевые поверхностные структуры, спектры (1)
- кремний (1)
- кремний-адсорбат, система (1)
- кремния поверхности неупорядоченные (1)
- кремния поверхности упорядоченные (1)
- кремния поверхность атомарно-чистая (1)
- литий (1)
- литография интегральных схем (1)
- литография оптическая (1)
- литография рентгеновская (1)
- литография электронно-лучевая (1)
- магнетронное напыление (1)
- магний (1)
- марганец (1)
- медь (1)
- межзонные переходы (1)
- модель плотности электронных состояний (1)
- молибден (1)
- натрий (1)
- нитрид кремния (1)
- окисление поликремния (1)
- оксиды титана (1)
- осаждение диэлектрических пленок (1)
- осаждение плазмохимическое (1)
- палладий (1)
- Show more
- Show less