Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (2)
-
Authors
-
Locations
- Абонемент. Депозитарий (2)
- Книгохранилище (2)
-
Item types
- Выдается в читальный зал (2)
- 1 месяц (2)
- 6 месяцев (2)
-
Topics
- Интегральные схемы (1)
- Плазмохимические методы (1)
- Производство (1)
- волокнистые материалы (1)
- золь-гель технологии (1)
- интегральные микротехнологии (1)
- интегральные системы ультрабольшие, травление вакуумно-плазменное (1)
- интегральные схемы, травление вакуумно-плазменное (1)
- кинетические параметры (1)
- кремний, травление плазмохимическое (1)
- лазеры, изготовление травлением вакуумно-плазменным (1)
- люминофоры (1)
- микрозеркала, изготовление травлением вакуумно-плазменным (1)
- микроэлектроника, технологические процессы (1)
- нанодисперсные порошки (1)
- наносистемы, травление вакуумно-плазменное (1)
- наноэлектроника, технологические процессы (1)
- оксидные материалы, синтез (1)
- оксиды редких элементов нанодисперсные (1)
- плазмохимические методы (1)
- плазмохимические процессы (1)
- плазмохимические реакции (1)
- плазмохимические установки (1)
- подложки, травление вакуумно-плазменное (1)
- полупроводниковые материалы оксидные (1)
- термодинамическое моделирование (1)
- технологические схемы (1)
- травление вакуумно-плазменное, методы (1)
- травление ионно-плазменное, методы контроля (1)
- ультрадисперсные порошки (1)
- физико-химические характеристики (1)
- экспериментальные исследования (1)
- эмиттеры кремниевые, регулирование профилей травлением вакуумно-плазменным (1)
- энергоэффективность (1)
- Show more
- Show less