Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (3)
-
Authors
-
Locations
-
Item types
- Выдается в читальный зал (2)
- 1 месяц (2)
- 6 месяцев (1)
- Выдается по месту хранения (1)
-
Topics
- диэлектрические пленки (2)
- оксинитрид кремния (2)
- high-k-диэлектрики (1)
- МДМ-системы, электропроводность (1)
- Металлы (1)
- Микроэлектронные схемы интегральные (1)
- Осаждение из газовой фазы (1)
- Производство (1)
- Физика полупроводников и диэлектриков (1)
- алюминий (1)
- атомные структуры (1)
- вакансии кислорода (1)
- вольфрам (1)
- германий (1)
- диоксид гафния (1)
- диссертации (1)
- диэлектрики с высокой диэлектрической проницаемостью (1)
- диэлектрическая проницаемость, оптимизация (1)
- диэлектрические пленки формованные, деградационные процессы (1)
- диэлектрические пленки формованные, токоперенос (1)
- диэлектрические постоянные (1)
- инжекция электронов (1)
- интегральные микросхемы (1)
- кремний (1)
- кремний аморфный (1)
- люминесценция диэлектриков (1)
- медь (1)
- металл-диэлектрик-металл (МДМ), тонкие пленки (1)
- микроструктуры (1)
- нестехиометрические соединения (1)
- нитрид кремния (1)
- оксид кремния (1)
- оксинитрид кремния, тонкие пленки (1)
- перенос зарядов (1)
- плазмоактивированные процессы (1)
- поликремний легированный (1)
- поликремний нелегированный (1)
- полупроводниковые гетероструктуры (1)
- полупроводниковые пленки (1)
- полупроводниковые приборы (1)
- полупроводниковые приборы кремниевые (1)
- прекурсоры (1)
- проводимость диэлектриков двузонная (1)
- проводимость полупроводников (1)
- стекла силикатные (1)
- тантал (1)
- термоактивированные процессы (1)
- технология производства микросхем (1)
- титан (1)
- фотолюминесценция диэлектриков (1)
- Show more
- Show less