Научная библиотека ТГУ catalog › Results of search for 'su:"магнетронные распылительные системы"'

Search

Your search returned 5 results.

	1.	No cover image available Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1987 гг.) В. М. Таран, В. И. Орлов by Таран, Владимир Маркович \| Орлов, Василий Иванович. Series: Обзоры по электронной техникеMaterial type: Text; Format: print ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Publication details: М. Электроника 1987Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	2.	No cover image available Гидродинамическая модель катодного слоя магнетронного разряда Д. С. Рычков, Д. А. Маракасов by Рычков, Д. С \| Маракасов, Дмитрий Анатольевич. Source: Современные проблемы физики и технологии : (сборник статей молодых ученых)Material type: Article; Format: print ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	3.	No cover image available Генератор объемной плазмы высокой плотности на основе сильноточного импульсного магнетронного разряда А. В. Козырев, Н. С. Сочугов, А. Н. Захаров [и др.] by Козырев, Андрей Владимирович физик \| Сочугов, Николай Семенович \| Захаров, Александр Николаевич \| Оскирко, Владимир Олегович \| Семенов, Вячеслав Аркадьевич \| Семенюк, Наталья Степановна. Source: Известия высших учебных заведений. ФизикаMaterial type: Article; Format: electronic available online Online access: Click here to access online Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	4.	No cover image available Voluminous high-density plasma generator based on high-current pulsed magnetron discharge A. V. Kozyrev, N. S. Sochugov, A. N. Zakharov [et.al.] by Sochugov, Nikolay S \| Zakharov, Alexander N \| Oskirko, V. O \| Semenov, Vladimir A \| Semenyuk, N. S \| Kozyrev, Andrey V \| Томский государственный университет Физический факультет Кафедра физики плазмы \| Томский государственный университет Физический факультет Научные подразделения ФФ. Source: Russian physics journalMaterial type: Article; Format: electronic available online Online access: Click here to access online Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	5.	No cover image available Цилиндрическая магнетронная распылительная система с вращающимся катодом А. Н. Захаров, А. А. Соловьев, Н. С. Сочугов by Захаров, А. Н \| Соловьев, Андрей Александрович \| Сочугов, Н. С. Source: Современные проблемы физики и технологии : (сборник статей молодых ученых)Material type: Article; Format: print ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)