Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (2)
-
Authors
-
Locations
- Книгохранилище (2)
-
Item types
- Выдается в читальный зал (2)
- 1 месяц (2)
-
Topics
- литография субмикронная (2)
- тонкие пленки (2)
- Микролитография (1)
- Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство (1)
- анализ тонких пленок (1)
- взаимодействие излучения с веществом (1)
- интегральные схемы (1)
- ионно-оптические системы (1)
- кинетика отказов (1)
- лазерное сканирование (1)
- лазерный отжиг (1)
- литографические методы микроэлектроники (1)
- масс-спектральный анализ (1)
- математическое моделирование процессов (1)
- миграционные модели (1)
- микрозонды (1)
- микроскопия субмикронная (1)
- микросхемы (1)
- микроэлектроника (1)
- микроэлектронные приборы (1)
- осаждение тонких пленок (1)
- планарная технология (1)
- пучки заряженных частиц (1)
- распыление тонких пленок (1)
- спектроскопия ионно-фотонная (1)
- сухое травление (1)
- технологические методы микроэлектроники (1)
- транзисторы полевые арсенидгаллиевые (1)
- физика тонких пленок (1)
- электрические характеристики (1)
- электронно-лучевой отжиг (1)
- электронно-оптические системы (1)
- электронные микроскопы (1)
- Show more
- Show less