Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (2)
- Статьи из сборников (1)
- Статьи из сериальных изданий (1)
-
Authors
- Аверин, Игорь Александрович (1)
- Берлин, Евгений Владимирович (1)
- Головяшкин, Алексей Николаевич (1)
- Кузьмичев, Анатолий Иванович (1)
- Мельниченко, Михаил Сергеевич (1)
- Печерская, Р. М. (1)
- Сейдман, Лев Александрович (1)
- Шандриков, Максим Валентинович (1)
- Шулаев, Валерий Михайлович (1)
- Show more
- Show less
-
Locations
- Читальный зал 5 (1)
- Книгохранилище (1)
-
Item types
-
Topics
- ионное распыление (4)
- HiPIMS-процесс (1)
- Магнетроны (1)
- Нанесение (1)
- Применение для напыления тонких пленок (1)
- Тонкие пленки (1)
- адсорбция физическая (1)
- атомы газа реактивного (1)
- вакуумное напыление (1)
- вольфрам (1)
- импульсное распыление (1)
- ионная имплантация (физика поверхности) (1)
- ионно-плазменное распыление (1)
- ионное осаждение (1)
- ионные потоки (1)
- ионный ток (1)
- ионы азота (1)
- иридий (1)
- коэффициент отражения (1)
- коэффициенты распыления (1)
- магнетронное распыление реактивное (1)
- нанесение тонких пленок (1)
- нитриды металлов, образование (1)
- окислы металлов, образование (1)
- осмий (1)
- плазма (1)
- плазменное распыление (1)
- плазменные системы (1)
- плазмохимические технологии (1)
- плазмохимическое напыление (1)
- поверхности твердых тел, адсорбция (1)
- распылительные системы (1)
- реактивное распыление (1)
- реактивные разряды (1)
- рост тонких пленок (1)
- состав тонких пленок (1)
- справочники (1)
- структура тонких пленок (1)
- технология получения тонких пленок (1)
- тонкие пленки металлические (1)
- тонкие пленки многокомпонентных материалов (1)
- тонкие пленки полупроводников (1)
- физика высокоэнергетических систем (1)
- хемосорбция (1)
- химия высокоэнергетических систем (1)
- электроды (1)
- Show more
- Show less