Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (3)
-
Authors
-
Locations
- Книгохранилище (2)
- Читальный зал 5 (1)
- Абонемент. Депозитарий (1)
-
Item types
- Выдается в читальный зал (2)
- 1 неделя (1)
- 6 месяцев (1)
- Выдается по месту хранения (1)
-
Topics
- ионная имплантация (физика поверхности) (3)
- HiPIMS-процесс (1)
- Магнетроны (1)
- Применение для напыления тонких пленок (1)
- Электроны горячие (1)
- аморфное состояние вещества (1)
- атомы газа реактивного (1)
- геттерирование (микроэлектроника) (1)
- ионное распыление (1)
- ионные связи (1)
- квазичастицы (1)
- квантовая механика (1)
- ковалентные связи (1)
- кристаллические решетки, энергия связи (1)
- кристаллические структуры поверхности (1)
- кристаллическое состояние вещества (1)
- лазерный отжиг (1)
- литография, физические основы (1)
- люминесценция полупроводниковых слоев тонких (1)
- магнетронное распыление реактивное (1)
- металлические связи (1)
- микротехнологии (1)
- микроэлектроника молекулярная (1)
- микроэлектроника, технология поверхностная (1)
- молекулярные связи (1)
- нанесение тонких пленок (1)
- наноструктуры (1)
- нанотехнологии (1)
- нанотехнологии, метрологическое обеспечение (1)
- нанотехнологии, неразрушающие методы контроля (1)
- наноэлектроника (1)
- наноэлектронные материалы (1)
- нелинейная динамика (1)
- нитриды металлов, образование (1)
- окислы металлов, образование (1)
- оптоэлектронные приборы (1)
- плазмохимические технологии (1)
- плазмохимическое напыление (1)
- поверхности полупроводниковых приборов (1)
- поверхностные структуры, физические основы модификации (1)
- поверхностные явления в полупроводниках (1)
- полупроводниковая микроэлектроника, элементная база (1)
- полупроводниковая техника, элементная база (1)
- полупроводниковые структуры (1)
- реактивное распыление (1)
- реактивные разряды (1)
- сверхпроводимость высокотемпературная (1)
- сверхпроводящие пленки (1)
- сверхрешетки поверхностные (1)
- состав тонких пленок (1)
- Show more
- Show less