Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Влияние модифицирования поверхности InP композициями оксидов (V2O5+PbO) и (NiO+PbO) разного состава на процесс термооксидирования полупроводника и характеристики формируемых оксидных пленок И. Я. Миттова, Е. В. Томина, А. В. Заболотская и др.

Contributor(s): Миттова, Ирина Яковлевна | Заболотская, Анастасия Владимировна | Самсонов, Алексей Алексеевич | Сладкопевцев, Борис Владимирович | Третьяков, Никита Николаевич | Томина, Елена Викторовна | Козик, Владимир Васильевич, 1947-2021 | Томский государственный университет Химический факультет Научные подразделения ХФ | Томский государственный университет Химический факультет Кафедра неорганической химииMaterial type: ArticleArticleSubject(s): фосфид индия | оксид ванадия | магнетронное распыление | оксидированиеGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online In: Известия высших учебных заведений. Физика Т. 57, № 12. С. 68-72
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
No physical items for this record

Библиогр.: 9 назв.

There are no comments on this title.

to post a comment.
Share