Normal view
MARC view
Влияние модифицирования поверхности InP композициями оксидов (V2O5+PbO) и (NiO+PbO) разного состава на процесс термооксидирования полупроводника и характеристики формируемых оксидных пленок И. Я. Миттова, Е. В. Томина, А. В. Заболотская и др.
Material type: ArticleSubject(s): фосфид индия | оксид ванадия | магнетронное распыление | оксидированиеGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online In: Известия высших учебных заведений. Физика Т. 57, № 12. С. 68-72No physical items for this record
Библиогр.: 9 назв.
There are no comments on this title.