Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Влияние отжига в аргоне на свойства пленок оксида галлия, полученных термическим напылением В. М. Калыгина, В. В. Вишникина, А. Н. Зарубин и др.

Contributor(s): Вишникина, Вера Валерьевна | Зарубин, Андрей Николаевич | Новиков, Владимир Александрович | Петрова, Юлианна Сергеевна | Толбанов, Олег Петрович | Тяжев, Антон Владимирович | Цупий, Светлана Юрьевна | Яскевич, Тамара Михайловна | Калыгина, Вера Михайловна | Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра полупроводниковой электроники | Томский государственный университет Радиофизический факультет Публикации студентов и аспирантов РФФ | Томский государственный университет Сибирский физико-технический институт Научные подразделения СФТИMaterial type: ArticleArticleSubject(s): оксид галлия | оксидные пленки | термическое напыление | отжиг | электрические характеристики | оптические характеристикиGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online In: Физика и техника полупроводников Т. 47, № 8. С. 1137-1143
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
No physical items for this record

Библиогр.: 9 назв.

There are no comments on this title.

to post a comment.
Share