Normal view
MARC view
Voluminous high-density plasma generator based on high-current pulsed magnetron discharge A. V. Kozyrev, N. S. Sochugov, A. N. Zakharov [et.al.]
Material type: ArticleSubject(s): физика плазмы | магнетронные распылительные системы | магнетронные разряды | плазменно-иммерсионная обработкаGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online In: Russian physics journal Vol. 55, № 2. P. 195-201No physical items for this record
Библиогр.: 5 назв.
There are no comments on this title.