Формирование α-Al2O3-покрытий реакционным испарением с интенсивным ионным сопровождением при 500–550 °С А. С. Каменецких, Н. В. Гаврилов, П. В. Третников [и др.]
Material type:
ArticleContent type: Текст Media type: электронный Subject(s): оксидные покрытия | оксид алюминия | реактивное испарение | ионное сопровождение | текстура | кристаллическая решеткаGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online
In:
Известия высших учебных заведений. Физика Т. 63, № 10. С. 144-150Abstract: Представлены результаты исследования условий формирования и структуры α-фазы в Al2O3-покрытиях, полученных реакционным анодным испарением в дуговом разряде при низкой температуре (500–550 °С). В экспериментах варьировались плотность тока ионного сопровождения (до 20 мА/см2) и энергия ионов (25–150 эВ), поступающих на поверхность покрытия при постоянной скорости роста 3 мкм/ч. Фазовый состав покрытия анализировался методами рентгеновской дифракции и инфракрасной спектроскопии. Показано, что α-фаза формируется при достижении порогового напряжения смещения 75–100 В и стабильна в ограниченном диапазоне изменения энергии ионов, рост которой приводит к уменьшению размера нанокристаллитов α-фазы и аморфизации покрытия. Особенностью структуры покрытий является преимущественная ориентация (300), наиболее вероятной причиной доминирования которой служит рост α-фазы при выполнении ориентационного соотношения (440)γ-Al2O3/(300)α-Al2O3.
Библиогр.: 26 назв.
Ограниченный доступ
Представлены результаты исследования условий формирования и структуры α-фазы в Al2O3-покрытиях, полученных реакционным анодным испарением в дуговом разряде при низкой температуре (500–550 °С). В экспериментах варьировались плотность тока ионного сопровождения (до 20 мА/см2) и энергия ионов (25–150 эВ), поступающих на поверхность покрытия при постоянной скорости роста 3 мкм/ч. Фазовый состав покрытия анализировался методами рентгеновской дифракции и инфракрасной спектроскопии. Показано, что α-фаза формируется при достижении порогового напряжения смещения 75–100 В и стабильна в ограниченном диапазоне изменения энергии ионов, рост которой приводит к уменьшению размера нанокристаллитов α-фазы и аморфизации покрытия. Особенностью структуры покрытий является преимущественная ориентация (300), наиболее вероятной причиной доминирования которой служит рост α-фазы при выполнении ориентационного соотношения (440)γ-Al2O3/(300)α-Al2O3.
There are no comments on this title.