Испарение поликристаллического кремний-алюминиевого катода в вакуумно-дуговом разряде Д. В. Духопельников, Д. В. Кириллов
Material type:
ArticleSubject(s): вакуумные дуги | кремний | капли | скорость движения | катодные пятна | арочное поле | эрозия | покрытияGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online
In:
Известия высших учебных заведений. Физика Т. 62, № 11. С. 68-74Abstract: Проведено описание экспериментальных работ по испарению кремния в вакуумно-дуговом разряде в непрерывном режиме при наложении внешнего арочного магнитного поля. Приведены вольт-амперные характеристики разряда и скорости движения катодных пятен по поверхности катода при различных значениях индукции внешнего магнитного поля. Показано, что скорость эрозии кремниевого катода зависит от величины индукции магнитного поля. В образцах покрытий кремния, напылённых в непрерывном режиме, получены данные по размерам капель в диапазоне диаметров от 30 нм до 5 мкм оптическим и зондовым микроскопами. Показано, что при увеличении индукции магнитного поля происходит снижение плотности потока капель и массовой доли капель в покрытиях.
Библиогр.: 15 назв.
Ограниченный доступ
Проведено описание экспериментальных работ по испарению кремния в вакуумно-дуговом разряде в непрерывном режиме при наложении внешнего арочного магнитного поля. Приведены вольт-амперные характеристики разряда и скорости движения катодных пятен по поверхности катода при различных значениях индукции внешнего магнитного поля. Показано, что скорость эрозии кремниевого катода зависит от величины индукции магнитного поля. В образцах покрытий кремния, напылённых в непрерывном режиме, получены данные по размерам капель в диапазоне диаметров от 30 нм до 5 мкм оптическим и зондовым микроскопами. Показано, что при увеличении индукции магнитного поля происходит снижение плотности потока капель и массовой доли капель в покрытиях.
There are no comments on this title.