Normal view
MARC view
Лазерная сварка хрупких материалов для микроэлектроники А. Н. Солдатов, В. Ю. Юрин, А. С. Шумейко [и др.]
Material type: ArticleSubject(s): кремниевые подложки | лазерная сварка | хрупкие материалы | стеклянные подложки | микроэлектроникаGenre/Form: статьи в сборниках Online resources: Click here to access online In: Лазерно-информационные технологии в медицине, биологии, геоэкологии и на транспорте – 2018 : труды XXVI Международной конференции, г. Новороссийск, Краснодарский край, 10-15 сентября 2018 г С. 47-48No physical items for this record
There are no comments on this title.