Зависимость структуры ионно-модифицированных слоев монокристаллов NiTi от ориентации облучаемой поверхности Т. М. Полетика, Л. Л. Мейснер, С. Л. Гирсова [и др.]
Material type:
ArticleSubject(s): поверхностные слои | монокристаллы NiTi | кристаллографический анализ | ионно-модифицированные слои | структурная зависимостьGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online
In:
Журнал технической физики Т. 87, вып. 7. С. 1018-1026Abstract: Методами оже-электронной спектроскопии и просвечивающей электронной микроскопии исследованы состав и структура имплантированных Si-слоев монокристаллов никелида титана, различно ориентированных относительно направления ионно-пучкового воздействия. Выявлена роль „мягкой“ [111]B2 и „жесткой“ [001 ]B2 ориентаций NiTi в формировании структуры ионно-модифицированного поверхностного слоя, а также дефектной структуры приповерхностных слоев монокристаллов. Обнаружены ориентационные эффекты селективного распыления и каналирования ионов, контролирующие состав и толщину формирующихся оксидного и аморфного слоев, глубину проникновения ионов и примесей, а также концентрационный профиль распределения Ni на поверхности.
Библиогр.: 24 назв.
Методами оже-электронной спектроскопии и просвечивающей электронной микроскопии исследованы состав и структура имплантированных Si-слоев монокристаллов никелида титана, различно ориентированных относительно направления ионно-пучкового воздействия. Выявлена роль „мягкой“ [111]B2 и „жесткой“ [001 ]B2 ориентаций NiTi в формировании структуры ионно-модифицированного поверхностного слоя, а также дефектной структуры приповерхностных слоев монокристаллов. Обнаружены ориентационные эффекты селективного распыления и каналирования ионов, контролирующие состав и толщину формирующихся оксидного и аморфного слоев, глубину проникновения ионов и примесей, а также концентрационный профиль распределения Ni на поверхности.
There are no comments on this title.