Normal view
MARC view
Моделирование перерасперделения частиц плазмы в цилиндрической камере магнетронной установки Э. Р. Сайфуллин
Material type: ArticleSubject(s): плазма | технологические процессы | частицы плазмы | управление | оптимизация | вычислительные эксперименты | прогностические модели | цилиндрическая камера | магнетронное распылениеGenre/Form: статьи в сборниках Online resources: Click here to access online In: Сборник тезисов участников форума "Наука будущего – наука молодых" : III Всероссийский научный форум, 12 сентября - 14 сентября 2017 года, г. Нижний Новгород С. 607-608No physical items for this record
Библиогр.: 10 назв.
There are no comments on this title.