Основы фотолитографии Электронный ресурс учебное пособие : [для вузов по специальности ВПО 020101.65 - химия] Е. Н. Гудымович, Н. А. Гавриленко ; Том. гос. ун-т
Material type:
Computer filePublication details: [Б. м. б. и. 200-?]Subject(s): электронные учебники | фотолитография | электронная техника | фотохимические реакции | пластины (фотолитография) | загрязнение поверхности пластины (фотолитография) | вакуумная гигиена | фоторезисторы | фотошаблоны | подложки | перенос изображения | фотолитографические процессы плазменные | фотослои | изображения (фотолитография) | полупроводниковое материаловедение | планирование эксперимента | методы оптимизации | физико-химическая обработка | безопасность работы | программы учебных курсовGenre/Form: учебные издания Online resources: Click here to access online
Загл. с экрана
Оригинал: Томск, 2009 182 с.
Системные требования: Adobe Acrobat Reader 5.0 или выше.
" ... пользование допускается без согласия автора или иного правообладателя и без выплаты вознаграждения. При этом выраженные в цифровой форме экземпляры произведений, предоставляемые библиотеками во временное безвозмездное пользование … могут предоставляться только в помещениях библиотек при условии исключения возможности создать копии этих произведений в цифровой форме" (Гражданский кодекс РФ, ч. 4).
There are no comments on this title.