Газочувствительные свойства пленок твердого раствора In2O3-Ga2O3 В. И. Николаев, А. В. Алмаев, Б. О. Кушнарев [и др.]
Material type: ArticleContent type: Текст Media type: электронный Subject(s): оксиды металлов | электропроводящие пленки | хлоридная газофазная эпитаксия | газовая чувствительностьGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online In: Письма в журнал технической физики Т. 48, № 14. С. 37-41Abstract: Исследовано влияние состава газовой среды на электропроводящие свойства пленок In2O3-Ga2O3, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии. В интервале температур 100-550oC пленки In2O3-Ga2O3 проявляют высокую чувствительность к H2, NH3 и CO, характеризуются высоким быстродействием и низким базовым сопротивлением. Предложен качественный механизм чувствительности пленок In2O3-Ga2O3 к газам.Библиогр.: 25 назв.
Исследовано влияние состава газовой среды на электропроводящие свойства пленок In2O3-Ga2O3, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии. В интервале температур 100-550oC пленки In2O3-Ga2O3 проявляют высокую чувствительность к H2, NH3 и CO, характеризуются высоким быстродействием и низким базовым сопротивлением. Предложен качественный механизм чувствительности пленок In2O3-Ga2O3 к газам.
There are no comments on this title.