Normal view
MARC view
Методы контроля макродефектов диэлектрических покрытий (По данным отечественной и зарубежной печати за 1970-1982 гг. ) И. С. Суровцев, Г. А. Кузнецова, С. С. Булгаков, В. Ф. Сыноров
Material type:
TextSeries: Обзоры по электронной техникеPublication details: М. Электроника 1983Description: 51, [1] с. рисSubject(s): диэлектрические пленки | тонкие пленки | двуокись кремния | планарная технология | пористость | макродефекты сквозные | термическое окисление | диффузия | эпитаксия | методы контроля
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-505084к (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000555460 | ||
| 1 месяц | Книгохранилище | 1-515498 (Browse shelf (Opens below)) | 1 | Available | 13820000421777 |
Библиогр.: с. 45-51
There are no comments on this title.