Влияние материала подложки на свойства пленок оксида тантала В. М. Калыгина, А. Н. Зарубин, В. А. Новиков [и др.]
Material type:
ArticleContent type: Текст Media type: электронный Subject(s): оксиды тантала | кислородная плазма | диэлектрическая проницаемость | диэлектрические потери | подложкиGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online
In:
Известия высших учебных заведений. Физика Т. 53, № 12. С. 83-88Abstract: Исследовано влияние материала подложки на электрические характеристики пленок ТаxОy, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени, изготовленной из оксида тантала. Установлено влияние кислородной плазмы на токи утечки, величину диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь тонких слоев (300–400 нм) ТаxОy. Предложено использовать обработку пленок оксида тантала в кислородной плазме для управления их электрическими и диэлектрическими характеристиками.
Библиогр.: 10 назв.
Исследовано влияние материала подложки на электрические характеристики пленок ТаxОy, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени, изготовленной из оксида тантала. Установлено влияние кислородной плазмы на токи утечки, величину диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь тонких слоев (300–400 нм) ТаxОy. Предложено использовать обработку пленок оксида тантала в кислородной плазме для управления их электрическими и диэлектрическими характеристиками.
There are no comments on this title.