|
|
2.
|
Имплантация ионов бора в варизонные эпитаксиальные пленки МЛЭ КРТ А. В. Войцеховский, Д. В. Григорьев, А. Г. Коротаев и др. by Войцеховский, Александр Васильевич | Григорьев, Денис Валерьевич | Коротаев, Александр Григорьевич | Коханенко, Андрей Павлович | Талипов, Нияз Хатимович. Source: Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и нанофотоники) : материалы XI международной научно-технической конференции (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2005, 8-10 сентября). Тонкие пленки в электронике : материалы XVII международного симпозиума (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана 2005, 8-10 сентября)Material type:  Article; Format:
print
; Literary form:
Not fiction
; Audience:
Specialized;
Availability: No items available :
|
