Normal view
MARC view
Measuring device for design and quality inspection of thin films and multi-layered structures for microelectronics A. V. Panin, S. V. Panin, V. E. Panin
Material type:
ArticleOther title: Измерительные устройства для инспектирования качества и дизайна тонких пленок и много-слоевых структур, используемых в микроэлектронике [Parallel title]Subject(s): тонкие пленки | измерительные приборы | микроэлектроника | экспериментальные исследования | многослойные структуры | труды ученых ТГУ
In:
Tomsk Region and Taiwan: experience of scientific-technical and innovation cooperation. Vol. 1 : forum proceedings, 16-17 September, 2009, Tomsk Vol. 1. P. 162-165
No physical items for this record
Библиогр.: 6 назв.
There are no comments on this title.