Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Расчет химического состава гелий-силановой плазмы В. И. Струнин, Е. А. Китаева, Г. Ж. Худайбергенов

By: Струнин, Владимир ИвановичContributor(s): Китаева, Елена Александровна | Худайбергенов, Гамзат ЖапаровичMaterial type: ArticleArticleContent type: Текст Media type: электронный Subject(s): гелий-силановая плазма | химический состав | высокоэнергетичные электроны | пылевые частицы | метастабильные атомыGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online In: Известия высших учебных заведений. Физика Т. 53, № 1. С. 90-96Abstract: Предложена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной гелиевой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов диссоциации силана, проанализирована роль метастабильных атомов гелия в образовании пленкообразующих радикалов.
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
No physical items for this record

Библиогр.: 15 назв.

Предложена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной гелиевой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов диссоциации силана, проанализирована роль метастабильных атомов гелия в образовании пленкообразующих радикалов.

There are no comments on this title.

to post a comment.
Share