Normal view
MARC view
Расчет химического состава гелий-силановой плазмы В. И. Струнин, Е. А. Китаева, Г. Ж. Худайбергенов
Material type: ArticleContent type: Текст Media type: электронный Subject(s): гелий-силановая плазма | химический состав | высокоэнергетичные электроны | пылевые частицы | метастабильные атомыGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online In: Известия высших учебных заведений. Физика Т. 53, № 1. С. 90-96Abstract: Предложена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной гелиевой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов диссоциации силана, проанализирована роль метастабильных атомов гелия в образовании пленкообразующих радикалов.No physical items for this record
Библиогр.: 15 назв.
Предложена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной гелиевой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов диссоциации силана, проанализирована роль метастабильных атомов гелия в образовании пленкообразующих радикалов.
There are no comments on this title.