Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Физико-технологические основы макро-, микро- и наноэлектроники [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 210100 "Электроника и наноэлектроника", 211000 "Конструирование и технология электронных средств", 222900 "Нанотехнологии и микросистемная техника"] А. А. Барыбин, В. И. Томилин, В. И. Шаповалов ; под общ. ред. А. А. Барыбина

By: Барыбин, Анатолий АндреевичContributor(s): Томилин, Виктор Иванович | Шаповалов, Виктор Иванович, 1956-Material type: TextTextLanguage: Russian Publication details: Москва Физматлит 2011Description: 782, [1] с. ил., портр., табл. 22 смISBN: 9785922113212Subject(s): Электроника -- Физические основы -- Учебные издания для высших учебных заведений | электронные технологии | фазовые превращения веществ | химические превращения веществ | управление диффузионными процессами | управление кинетическими процессами | равновесные процессы | неравновесные процессы | энтропия | законы сохранения энергии | второе начало термодинамики | Пригожина теорема о минимуме производства энтропии | фазовое равновесие | химическое равновесие | равновесие структурное | дефектообразование в кристаллах | кристаллические решетки полупроводников | электронно-дырочное равновесие полупроводников | диффузия атомов в полупроводниках | легирование полупроводников диффузионное | химическое травление полупроводников | термическое окисление полупроводников | полупроводники монокристаллические | эпитаксиальные методы | химический транспорт веществ | поверхности полупроводников | межфазные взаимодействия полупроводников | нанокластеры | наноструктурированные материалы | золь-гель технологии | зародышеобразование тонких пленок | арсенид галлияOther classification: В317.1я73-1 | З844-06-1с.я73-1
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Item type Current library Call number Status Date due Barcode
Выдается в читальный зал Книгохранилище 2-030392 (Browse shelf (Opens below)) Available 13820000842476
6 месяцев Абонемент. Депозитарий 62 Б269 (Browse shelf (Opens below)) Available 13820000842477

Библиогр.: с. 771-772

Предм. указ.: с. 773-782

There are no comments on this title.

to post a comment.