|
|
2.
|
Облучатель на основе эксиламп для обработки полупроводниковых пластин А. П. Смирнов, А. Г. Ситников, Э. А. Соснин [и др.] by Смирнов, А. П | Ситников, Алексей Геннадьевич | Соснин, Эдуард Анатольевич | Шитц, Дмитрий Владимирович | Тарасенко, Виктор Федотович. Source: Инноватика - 2012. Т. 1 : сборник материалов VIII Всероссийской школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых с международным участием, 25-28 апреля 2012 г., г. Томск, РоссияMaterial type:  Article; Format:
print
festschrift
; Literary form:
Not fiction
; Audience:
Specialized;
Availability: No items available :
|
