Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Статьи из сборников (2)
- Книги (1)
-
Authors
-
Locations
- Читальный зал 5 (1)
-
Item types
-
Topics
- наноматериалы полифункциональные (2)
- нанотехнологии [x]
- химическое травление (2)
- анодное растворение (1)
- высокочистые материалы для электронной техники (1)
- глубокая очистка (1)
- дефектообразование в приборных структурах (1)
- дефекты в кристаллах, классификация (1)
- дистилляционные методы (1)
- диффузионное легирование полупроводников (1)
- ионно-лучевое легирование полупроводников (1)
- квантоворазмерные структуры (1)
- контроль качества подложек (1)
- кремний на диэлектрике, структуры (1)
- кристаллизационные методы (1)
- кристаллы бездислокационные (1)
- литографические процессы (1)
- материалы микроэлектроники, структурные дефекты (1)
- микротехнологии в микросистемной технике (1)
- микроэлектроника (1)
- наноразмерные твердотельные композиции, квантовое описание (1)
- нанотехнологии в микросистемной технике (1)
- осаждение диэлектрических слоев (1)
- осаждение тонких пленок (1)
- полирование полупроводников (1)
- полупроводники, технология получения (1)
- полупроводниковые материалы (1)
- полупроводниковые подложки, обработка (1)
- полупроводниковые приборы (1)
- приборные структуры, формирование (1)
- радиационно-термические обработки (1)
- радиоэлектронная аппаратура (1)
- технологические схемы (1)
- труды ученых ТГУ (1)
- учебные пособия для вузов (1)
- химические методы (1)
- химическое травление полупроводников (1)
- электрохимические методы (1)
- эпитаксиальные методы (1)
- Show more
- Show less