Normal view
MARC view
Вода с дезактивированным кислородом для промывки поверхности полупроводников AIIIBV после химического травления Г. М. Мокроусов, О. Н. Зарубина, Р. О. Леоненко
Material type: ArticleSubject(s): полупроводники | химическое травление | арсенид галлия | кислород | фазовый составGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online In: Известия высших учебных заведений. Физика Т. 57, № 7/2. С. 96-101No physical items for this record
Библиогр.: 14 назв.
There are no comments on this title.