|
|
2.
|
Зависимость электрических характеристик тонкопленочных кремниевых структур, чувствительных к водороду, от режимов термического отжига В. И. Балюба, В. Ю. Грицык, Т. А. Давыдова [и др.] by Балюба, Виталий Иванович | Грицык, Валерий Юрьевич | Давыдова, Тамара Анатольевна | Калыгина, Вера Михайловна | Хлудкова, Людмила Станиславовна. Source: Современные проблемы физики и высокие технологии : материалы Международной конференции, посвященной 125-летию ТГУ, 75-летию СФТИ и 50-летию РФФ ТГУ (29 сентября - 4 октября 2003 г.)Material type:  Article; Format:
print
festschrift
; Literary form:
Not fiction
; Audience:
Specialized;
Availability: No items available :
|
