Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (2)
-
Authors
-
Locations
- Абонемент. Депозитарий (2)
- Книгохранилище (2)
- Библиотека РФФ [x]
- Факультетская библиотека (1)
-
Item types
- Выдается в читальный зал (2)
- 6 месяцев (2)
- 1 месяц (1)
-
Topics
- Производство (2)
- Материалы (1)
- Металлы (1)
- Микроэлектронная аппаратура (1)
- Микроэлектронные схемы интегральные (1)
- Наноструктуры (физ.) (1)
- Осаждение из газовой фазы (1)
- алюминий (1)
- вольфрам (1)
- германий (1)
- дефекты кристаллов (1)
- деформации материалов микроэлектроники (1)
- диэлектрические пленки (1)
- диэлектрические постоянные (1)
- интегральные микросхемы (1)
- испытания материалов (1)
- керамики пористые (1)
- керамики ультрадисперсные (1)
- конструкционные материалы (1)
- кремний (1)
- кремний аморфный (1)
- материалы микроэлектроники (1)
- медь (1)
- мезомеханика (1)
- механика разрушения линейная (1)
- микроструктуры (1)
- молекулярная динамика (1)
- монокристаллы (1)
- нанокристаллы, деформация (1)
- наноматериалы тугоплавкие (1)
- наноразмерные объекты, моделирование (1)
- наноструктурные материалы (1)
- нанотрибология (1)
- нанотрубки, модели стержневые (1)
- нитрид кремния (1)
- оксинитрид кремния (1)
- плазмоактивированные процессы (1)
- поликремний легированный (1)
- поликремний нелегированный (1)
- полупроводниковые гетероструктуры (1)
- полупроводниковые пленки (1)
- прочность материалов микроэлектроники (1)
- разрушение материалов микроэлектроники (1)
- синергетика деформируемого твердого тела (1)
- стекла силикатные (1)
- тантал (1)
- термоактивированные процессы (1)
- технология производства микросхем (1)
- титан (1)
- углеродные нанотрубки (1)
- Show more
- Show less