Normal view
MARC view
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий Т. 2 в 2 т. [под общ. ред. Ю. Н. Коркишко]
Material type:
TextLanguage: Russian Series: НанотехнологииPublication details: Москва БИНОМ. Лаборатория знаний 2010Description: 252 с. рис., таблISBN: 9785996303366; 9785996303410Other title: Технологические аспекты / М. В. Акуленок, В. М. Андреев, Д. Г. Громов [и др.] [Distinctive title]Subject(s): Нанотехнология -- Применение в радиотехнике | Интегральные схемы -- Производство | микроэлектроника, технологические процессы | наноэлектроника, технологические процессы | подложки, поверхности | тонкие пленки, формирование | проводниковые материалы | диэлектрические материалы | полупроводниковые материалы | оптоэлектроника, технологические процессы | эпитаксия кремния | пленки тонкие, осаждение вакуум-термическое | пленки тонкие, осаждение ионно-плазменное | учебные пособия для вузов | пленки тонкие, легирование термодиффузионное | тонкие пленки, имплантация ионная | пленки тонкие, травление | пленки тонкие, распыление ионно-плазменное | пленки тонкие, испарение вакуум-термическое | проводники, осаждение на поверхности с нанорельефом сложным | диэлектрические пленки, методы формирования | микроэлектроника, методы рентгенолитографические | микроэлектроника, методы электронографические | микроэлектроника, методы фотолитографические | диоксид кремния, осаждение | подложки, удаление вещества с поверхности | подложки, травление плазменное | подложки, травление сухое | подложки, травление ионное | подложки, травление плазмохимическое | подложки, травление ионно-химическое | нитрид кремния, осаждение | интегральные микротехнологииOther classification: З844.19-06-1с45,0 | З844.15-06-1с45,0
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|
| 6 месяцев | Абонемент | 62 В24 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000768196 | |
| Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-994974к (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000768195 |
Авт. указаны на обороте тит. л.
Библиогр.: с. 243-248
There are no comments on this title.