Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
- Книги (9)
- Сериальные издания (2)
- Статьи из сериальных изданий (1)
-
Authors
- Воротынцев, Владимир Михайлович (2)
- Коркишко, Юрий Николаевич (2)
- Скупов, Владимир Дмитриевич (2)
- Акуленок, Марина Викторовна (1)
- Андреев, Владимир Михайлович (1)
- Асеев, Александр Леонидович (1)
- Барыбин, Анатолий Андреевич (1)
- Ваулин, Юрий Дмитриевич (1)
- Громов, Дмитрий Геннадьевич (1)
- Ицкович, Вульф Моисеевич (1)
- Капустин, Владимир Иванович (1)
- Константинова, Галина Серафимовна (1)
- Лозовский, Владимир Николаевич (1)
- Лозовский, Сергей Владимирович (1)
- Мокроусов, Геннадий Михайлович (1)
- Райнова, Юлия Петровна (1)
- Сигов, Александр Сергеевич (1)
- Стенин, Сергей Иванович (1)
- Чистяков, Юрий Дмитриевич (1)
- Show more
- Show less
-
Locations
- Книгохранилище (8)
- Читальный зал 5 (4)
- Абонемент (3)
- Абонемент. Депозитарий (3)
- Библиотека РФФ (2)
- Книгохранилище-11 (1)
- Show more
- Show less
-
Item types
- Выдается в читальный зал (8)
- 6 месяцев (5)
- 1 месяц (3)
- Выдается по месту хранения (3)
- 1 неделя (2)
-
Topics
- микроэлектроника [x]
- полупроводниковые материалы (9)
- учебные пособия для вузов (6)
- наноэлектроника (3)
- оптоэлектроника (3)
- дефектообразование в приборных структурах (2)
- дефекты в кристаллах, классификация (2)
- диэлектрические материалы (2)
- интегральные микротехнологии (2)
- квантоворазмерные структуры (2)
- кремний на диэлектрике, структуры (2)
- кристаллы бездислокационные (2)
- легирование полупроводников (2)
- микротехнологии в микросистемной технике (2)
- микроэлектроника, методы рентгенолитографические (2)
- микроэлектроника, методы фотолитографические (2)
- микроэлектроника, технологические процессы (2)
- монокристаллы (2)
- нанолитография (2)
- наноразмерные твердотельные композиции, квантовое описание (2)
- наноструктуры (2)
- нанотехнологии (2)
- нанотехнологии в микросистемной технике (2)
- наноэлектроника, технологические процессы (2)
- осаждение диэлектрических слоев (2)
- осаждение тонких пленок (2)
- пленки тонкие, легирование термодиффузионное (2)
- пленки тонкие, распыление ионно-плазменное (2)
- подложки, поверхности (2)
- подложки, травление плазмохимическое (2)
- подложки, удаление вещества с поверхности (2)
- полупроводники (2)
- радиационно-термические обработки (2)
- твердотельная электроника (2)
- эпитаксиальные методы (2)
- Интегральные схемы (1)
- Нанотехнология (1)
- Полупроводниковые соединения (1)
- Применение в радиотехнике (1)
- Производство (1)
- Структура (1)
- Томский государственный университет. Кафедра аналитической химии (1)
- Физические основы (1)
- Электроника (1)
- абразивная обработка (1)
- аналитические методы исследования (1)
- арсенид галлия (1)
- вакуумная электроника (1)
- высокочистые материалы для электронной техники (1)
- высшее техническое образование (1)
- Show more
- Show less