Normal view
MARC view
Неравновесная плазма хлора свойства и применение А. М. Ефремов, В. И. Светцов
Material type: TextLanguage: Russian Series: Фундаментальная и прикладная физикаPublication details: Москва Физматлит 2012Description: 215 с. ил., табл. 22 смISBN: 9785922114066Subject(s): Плазма(физ.) низкотемпературная -- Кинетика | Газовые разряды в хлоре | Травление -- Применение в производстве микросхем | плазменное травление | плазма хлора неравновесная низкотемпературная | плазменные процессы гетерогенные | электронный газ | частицы заряженные | частицы нейтральные | плазмообразующие смеси | взаимодействие частиц плазмы с металлами | взаимодействие частиц плазмы с полупроводникамиOther classification: Г542.527,07 | В333.24,07 | З844.1-060.14-1,07Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
---|---|---|---|---|---|
Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 2-060405 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000939522 |
Библиогр. в конце гл.
There are no comments on this title.