Normal view
MARC view
Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники учебное пособие : [для вузов по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" и по специальностям 010803 (014100) "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы", 210100 "Электроника и микроэлектроника", 210100 (550700) "Электроника и микроэлектроника" (бакалавр)] С. А. Гаврилов, А. Н. Белов
Material type:
TextLanguage: Russian Series: Высшее образование | Электронно-библиотечная система "Znanium.com"Publication details: Москва РИОР [и др.] 2014Edition: 2-е издDescription: 238, [1] с. ил. 21 смISBN: 9785369012994; 9785160092980; 9785161000199Subject(s): электрохимия | нанотехнология | электродные процессы | электроды полупроводниковые | полупроводник-электролит | химическая кинетика | электрохимическое разложение полупроводников | анодное растворение полупроводников | электроды кремниевые | массоперенос | микроструктуры кремниевые | наноструктуры кремниевые | оксидные пленки анодные | наноструктуры твердотельные | ионная имплантация | оксид алюминия анодный пористый | катодное осаждение | LIGA-технологии | наноразмерные кластеры металлов | поверхности полупроводников | нанокристаллы нитевидные | осаждение матричное нанокристаллов нитевидных | электрохимическое разложение полупроводников | диаграммы электрохимического равновесия | нанокластеры металлов | осаждение наноструктур на поверхность полупроводников | нанотехнологии электрохимическиеOther classification: 32.85я73
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Выдается по месту хранения | Читальный зал 5 | 621.3 Г124 (Browse shelf (Opens below)) | 1 | Available | 13820000872623 | |
| 6 месяцев | Абонемент. Депозитарий | 62 Г124 (Browse shelf (Opens below)) | 2 | Available | 13820000872624 |
Библиогр.: с. 235-236
There are no comments on this title.