Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Разработка Института сильноточной электроники Сибирского отделения РАН в области вакуумных электронно-ионно-плазменных технологий Н. Н. Коваль, С. В. Григорьев, В. Н. Девятков [и др.]

Contributor(s): Коваль, Николай Николаевич | Григорев, Сергей Владимирович | Девятков, Владимир НиколаевичMaterial type: ArticleArticleSubject(s): труды ученых ТГУ | Институт сильноточной электроники (Томск) | электронно-ионно-плазменные методы | вакуумные установки | нанотехнологии | наноструктурированные покрытия | ионно-плазменная технология | электронные пучкиOther classification: Ч214(2)71 | У9(2)497.2 | Х623 In: Инновации РАН - 2009 : материалы ежегодной научно-практической конференции, Томск, 18-20 ноября 2009 г С. 349-356
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
No physical items for this record

Библиогр.: с. 355

There are no comments on this title.

to post a comment.
Share