Normal view
MARC view
Влияние режимов магнетронного осаждения на элементный состав и морфологические особенности роста покрытий системы Ti-Al-Si-Cu-N Д. П. Галанов
Material type: ArticleSubject(s): растровая электронная микроскопия | рентгеноспектральный анализ | морфологические особенности | многокомпонентные покрытия | морфология рельефа | элементный состав | осаждение | магнетронное осаждение | покрытия In: Молодежная научная конференция Томского государственного университета, 2009 г. Вып. 2 Вып. 2 : Проблемы естествознания. С. 368-371No physical items for this record
Библиогр.: 2 назв.
There are no comments on this title.