Научная библиотека ТГУ catalog › Results of search for 'su:"магнетронное распыление"'

Search

Your search returned 6 results.

	1.	No cover image available Энергетическое воздействие на подложку в процессе дуального магнетронного осаждения покрытий TiAlN А. С. Гренадёров, А. Н. Захаров, В. О. Оскирко [и др.] by Гренадеров, Александр Сергеевич \| Захаров, Александр Николаевич \| Оскирко, Владимир Олегович \| Сиделев, Дмитрий Владимирович \| Оскомов, Константин Владимирович \| Соловьев, Андрей Александрович. Source: Известия высших учебных заведений. ФизикаMaterial type: Article; Format: electronic available online Online access: Click here to access online Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	2.	No cover image available Исследование влияния обработки поверхности полимерных скаффолдов методом магнетронного распыления на высвобождение инкорпорированных лекарственных средств А. О. Файт, А. А. Волохова by Файт, Арина Олеговна \| Волохова, Аполлинария Александровна. Source: Перспективы развития фундаментальных наук. Т. 2 : сборник научных трудов XVII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Россия, Томск, 21-24 апреля 2020 г.Material type: Article; Format: electronic available online ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Other title: Surface modification of polymer scaffolds by reactive magnetron sputtering controls the release of an incorporated drug.Online access: Click here to access online Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	3.	No cover image available Структура и состав трехслойных покрытий AlSiN+Ni+AlSiN, полученных методом магнетронного распыления Т. А. Губайдулина, Т. И. Дорофеева, В. П. Сергеев [и др.] by Губайдулина, Татьяна Анатольевна \| Дорофеева, Тамара Ивановна \| Сергеев, Виктор Петрович, 1949- \| Калашников, Марк Петрович \| Журавлев, Сергей Александрович \| Воронов, Андрей Викторович. Source: Международная конференция "Физическая мезомеханика. Материалы с многоуровневой иерархически организованной структурой и интеллектуальные производственные технологии", 6-10 сентября 2021 г., Томск, Россия : тезисы докладовMaterial type: Article; Format: electronic available online ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Online access: Click here to access online Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	4.	No cover image available Свойства нанокристаллических и нанослойных твердых углеродных покрытий, полученных магнетронным распылением К. В. Оскомов by Оскомов, Константин Владимирович. Source: Физика и химия высокоэнергетических систем : сборник материалов I Всероссийской конференции молодых ученых, 26-29 апреля 2005 г., Томск, РоссияMaterial type: Article; Format: print ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	5.	No cover image available Влияние режимов ВЧ магнетронного напыления на свойства тонких пленок диоксида олова Д. В. Неткачев, О. В. Анисимов, Н. К. Максимова, Е. В. Черников by Неткачев, Д. В \| Анисимов, Олег Викторович \| Максимова, Надежда Кузьминична \| Черников, Евгений Викторович. Source: Современные проблемы физики, технологии и инновационного развития : сборник статей молодых ученыхMaterial type: Article; Format: print ; Nature of contents: ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	6.	No cover image available Investigation on the microstructure, electrical and gas sensing properties of semiconducting metal oxide thin films deposited by advanced sputtering N. K. Maksimova, O. V. Anisimov, E. V. Chernikov [et.al.] by Maksimova, Nadezhda K \| Anisimov, Oleg V \| Chernikov, Evgeniy V \| Sevastyanov, Evgeniy Yu \| Rudov, Fedor V \| Chen, G. S. Source: Tomsk Region and Taiwan: experience of scientific-technical and innovation cooperation. Vol. 1 : forum proceedings, 16-17 September, 2009, TomskMaterial type: Article; Format: print ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Other title: Исследование микроструктуры, электрических и газочувствительных свойств тонких полупроводниковых металлооксидных пленок, полученных современными методами напыления.Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)