Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
-
Authors
- Anisimov, Oleg V (1)
- Chen, G. S. (1)
- Chernikov, Evgeniy V. (1)
- Maksimova, Nadezhda K. (1)
- Rudov, Fedor V. (1)
- Sevastyanov, Evgeniy Yu (1)
- Анисимов, Олег Викторович (1)
- Максимова, Надежда Кузьминична (1)
- Неткачев, Д. В (1)
- Оскомов, Константин Владимирович (1)
- Рудов, Федор Валентинович (1)
- Соловьев, Андрей Александрович (1)
- Черников, Евгений Викторович (1)
- Show more
- Show less
-
Topics
- труды ученых ТГУ [x]
- магнетронное распыление (3)
- экспериментальные исследования (3)
- пленки (2)
- тонкие пленки (2)
- физика высокоэнергетических систем (2)
- химия высокоэнергетических систем (2)
- ВЧ-магнетронное распыление (1)
- атомно-силовая микроскопия (1)
- газофазное осаждение (1)
- газочувствительные характеристики (1)
- диоксид азота (1)
- золото (1)
- импульсное магнетронное распыление (1)
- ионно-плазменные воздействия (1)
- магнетроны (1)
- нанокристаллические пленки (1)
- нанокристаллические покрытия (1)
- нанослойные покрытия (1)
- полупроводниковые низкоразмерные структуры (1)
- полупроводниковые пленки (1)
- полупроводниковые сенсоры (1)
- реактивное магнетронное распыление (1)
- сенсоры (1)
- серебро (1)
- технология полупроводниковых низкоразмерных структур (1)
- тонкие пленки диоксида олова (1)
- углеродные покрытия (1)
- ультратонкие пленки (1)
- физика диэлектриков (1)
- физика полупроводников (1)
- физика полупроводниковых низкоразмерных структур (1)
- электрические характеристики (1)
- Show more
- Show less