Normal view
MARC view
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман
Material type:
TextLanguage: Russian Series: Мир материалов и технологийPublication details: Москва Техносфера 2014Description: 255 с., [2] л. цв. ил. ил., табл. 25 смISBN: 9785948363691Subject(s): Магнетроны -- Применение для напыления тонких пленок | тонкие пленки металлические | ионное распыление | плазмохимические технологии | плазмохимическое напыление | реактивное распыление | хемосорбция | ионная имплантация (физика поверхности) | атомы газа реактивного | реактивные разряды | нитриды металлов, образование | окислы металлов, образование | состав тонких пленок | структура тонких пленок | магнетронное распыление реактивное | нанесение тонких пленок | HiPIMS-процесс | тонкие пленки полупроводников | технология получения тонких пленок | справочникиOther classification: Ж671-1,0
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|
| Выдается по месту хранения | Читальный зал 5 | 621.3 Б492 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000876375 | |
| 1 неделя | Читальный зал 5 | 621.3 Б492 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000876376 |
Библиогр.: с. 242-255
There are no comments on this title.