Refine your search
Availability
-
Bibliographic level
-
Authors
- Максимова, Надежда Кузьминична (2)
- Черников, Евгений Викторович [x]
- Анисимов, Олег Викторович (1)
- Калыгина, Вера Михайловна (1)
- Неткачев, Д. В (1)
- Цымбалов, Александр Вячеславович (1)
- Show more
- Show less
-
Topics
- магнетронное распыление (2)
- ВЧ-магнетронное распыление (1)
- аммиак (1)
- диоксид олова (1)
- полупроводниковые низкоразмерные структуры (1)
- термоциклирование (1)
- технология полупроводниковых низкоразмерных структур (1)
- тонкие пленки (1)
- тонкие пленки диоксида олова (1)
- труды ученых ТГУ (1)
- физика диэлектриков (1)
- физика полупроводников (1)
- физика полупроводниковых низкоразмерных структур (1)
- экспериментальные исследования (1)
- Show more
- Show less