Научная библиотека ТГУ catalog › Results of search for 'su:"магнетронное распыление"'

Search

Your search returned 2 results.

	1.	No cover image available Влияние режимов ВЧ магнетронного напыления на свойства тонких пленок диоксида олова Д. В. Неткачев, О. В. Анисимов, Н. К. Максимова, Е. В. Черников by Неткачев, Д. В \| Анисимов, Олег Викторович \| Максимова, Надежда Кузьминична \| Черников, Евгений Викторович. Source: Современные проблемы физики, технологии и инновационного развития : сборник статей молодых ученыхMaterial type: Article; Format: print ; Nature of contents: ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)
	2.	No cover image available Investigation on the microstructure, electrical and gas sensing properties of semiconducting metal oxide thin films deposited by advanced sputtering N. K. Maksimova, O. V. Anisimov, E. V. Chernikov [et.al.] by Maksimova, Nadezhda K \| Anisimov, Oleg V \| Chernikov, Evgeniy V \| Sevastyanov, Evgeniy Yu \| Rudov, Fedor V \| Chen, G. S. Source: Tomsk Region and Taiwan: experience of scientific-technical and innovation cooperation. Vol. 1 : forum proceedings, 16-17 September, 2009, TomskMaterial type: Article; Format: print ; Literary form: Not fiction ; Audience: Specialized; Other title: Исследование микроструктуры, электрических и газочувствительных свойств тонких полупроводниковых металлооксидных пленок, полученных современными методами напыления.Availability: No items available : Log in to add tags Add to cart (remove)