Normal view
MARC view
Investigation on the microstructure, electrical and gas sensing properties of semiconducting metal oxide thin films deposited by advanced sputtering N. K. Maksimova, O. V. Anisimov, E. V. Chernikov [et.al.]
Material type:
ArticleOther title: Исследование микроструктуры, электрических и газочувствительных свойств тонких полупроводниковых металлооксидных пленок, полученных современными методами напыления [Parallel title]Subject(s): тонкие пленки | полупроводниковые пленки | нанокристаллические пленки | магнетронное распыление | экспериментальные исследования | труды ученых ТГУ
In:
Tomsk Region and Taiwan: experience of scientific-technical and innovation cooperation. Vol. 1 : forum proceedings, 16-17 September, 2009, Tomsk Vol. 1. P. 68-70
No physical items for this record
Библиогр.: 3 назв.
There are no comments on this title.