Normal view
MARC view
Лабораторный практикум по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] А. А. Голишников, М. Г. Путря ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
Material type:
TextLanguage: Russian Series: Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"Publication details: Москва МИЭТ 2011Description: 100 с. ил. 21 смSubject(s): учебные пособия для вузов | лабораторные работы | интегральные схемы | наноэлектроника | диэлектрические пленки | тонкие пленки | магнетронное распыление | плазменное травление
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-998700к (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000792270 |
Библиогр. в конце работ
There are no comments on this title.