Влияние режимов работы на отклик сенсоров аммиака на основе пленок диоксида олова А. В. Цымбалов, В. М. Калыгина, Н. К. Максимова, Е. В. Черников
Material type:
ArticleContent type: Текст Media type: электронный Subject(s): диоксид олова | аммиак | тонкие пленки | магнетронное распыление | термоциклированиеGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online
In:
Письма в журнал технической физики Т. 46, вып. 10. С. 21-24Abstract: Изучено влияние режимов работы на величину отклика сенсоров аммиака на основе пленок диоксида
олова. Образцы получены в результате высокочастотного магнетронного распыления мишени SnO2 : Sb
на сапфировые подложки с предварительно нанесенными Pt-электродами и нагревателем. Варьирование
длительности цикла нагрева и снижение температуры в цикле охлаждения позволяют повысить величину
отклика на один-два порядка. Полученные результаты объясняются изменением плотности химически
адсорбированного кислорода на поверхности пленки SnO2 : Sb в зависимости от температурного режима.
Библиогр.: 9 назв.
Изучено влияние режимов работы на величину отклика сенсоров аммиака на основе пленок диоксида
олова. Образцы получены в результате высокочастотного магнетронного распыления мишени SnO2 : Sb
на сапфировые подложки с предварительно нанесенными Pt-электродами и нагревателем. Варьирование
длительности цикла нагрева и снижение температуры в цикле охлаждения позволяют повысить величину
отклика на один-два порядка. Полученные результаты объясняются изменением плотности химически
адсорбированного кислорода на поверхности пленки SnO2 : Sb в зависимости от температурного режима.
There are no comments on this title.