Normal view
MARC view
Взаимосвязь качества маскирующего рельефа с условиями нанесения фоторезиста ФП-9120 и подготовки поверхности подложки Е. В. Анищенко, Н. С. Еремина, Г. М. Мокроусов
Material type: ArticleSubject(s): редкоземельные элементы | химические науки | полифункциональные материалы | свойства материалов | фоторезист | подложка | концентрация | адгезия | растворы | пленки | труды ученых ТГУ In: Химия редких и редкоземельных элементов и современные материалы : Материалы Российской научно-практической конференции, посвященной 90-летию профессора В. В. Серебренникова 11-13 октября 2001 г., Томск С. 69-70No physical items for this record
There are no comments on this title.